性能参数：

● 2路气源，3个温区，最高1500K

● 双向气流，高精度气体流量计量

● 程序升温，降温

目前状态：正常使用

在研课题：TMD纵向/横向异质结

初步成果：制备出了较高质量WS₂, MoS₂ 

性能参数：

l3独立温区，最高1500K 

l多段程序升温、降温

目前状态：用于二维晶体的生长，正常使用