性能参数：

l可实现纳米尺度下多物性及相应三维形貌的精确表征

l已实现接触模式、轻敲模式、力曲线测试、横向力测试、双频谐振粘弹性测试、PFM、KPFM、CAFM、EFM、MFM等功能模式

l可在大气、特殊气氛或液体中进行测试

l可同时施加电、力、光等多外场实现相关性能的原位无损测试

目前状态：完成性能升级与验收，正常使用