性能参数：

l腔内水、氧含量低于0.1ppm。

l双工位手套箱：两个工位公用同一舱室。

  多自由度机械二维转移平台；可以实现材料剥离和异质结的堆叠以及器件制备和密封。

l三工位手套箱：三个主舱室连通，材料制备舱、材料转移舱、电学测试舱。

  高分辨金相显微镜、电控二维转移平台、高性能电学测试源表，可以完成从材料剥离到器件制备和测试的完整过程。

目前状态：正常使用