专利名称:一种采用原子层沉积法制备鳍式三维多铁异质结的方法
发明人:张易军 ;刘明 ;任巍 ;叶作光 ;张乐
申请号:CN201710393507
上一条:一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法
下一条:一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电弛豫相变的方法
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