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一种采用原子层沉积法制备鳍式三维多铁异质结的方法

发布日期:2017-05-27   点击量:

专利名称:一种采用原子层沉积法制备鳍式三维多铁异质结的方法

发明人:张易军 ;刘明 ;任巍 ;叶作光 ;张乐

申请号:CN201710393507



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