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一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法

发布日期:2017-05-31   点击量:

专利名称:一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法

发明人:刘明 ;张易军 ;张乐 ;任巍 ;叶作光

申请号:CN201710405411


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