性能参数：

● 4.0吋晶圆样品

● 超高本底真空（10-9Torr）

● 锲形膜、不同厚度膜高通量单原子层外延生长

● 8个金属、非金属靶 

目前状态： 正常使用

性能参数：

● 原子操纵-搭建人工纳米结构

● 单原子层精度金属，氧化物薄膜制备

● 原位形貌，电子结构测量

● T=5K, B=2T

目前状态：正常使用