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一种微型多源金属超薄膜电极超高真空蒸镀装置及方法(ZL202111450038.5)

发布日期:2021-11-30   点击量:

专利名称:一种微型多源金属超薄膜电极超高真空蒸镀装置及方法

发明人:潘毅,王受信,张又麒

申请号:2021114500385

专利号:ZL202111450038.5

授权日期:2022.10.25


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