专利名称:一种超高真空多功能样品转移装置及转移方法
发明人:潘毅,袁玺惠,吴迪,冯松杰,闵泰
申请号:202010224826.1
申请日期:2020.3.26
专利号:ZL202010224826.1
授权日期:2021年5月28日
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