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一种采用原子层沉积制备金属Fe薄膜的方法

发布日期：2016-11-16　　　点击量：

专利名称：一种采用原子层沉积制备金属Fe薄膜的方法

发明人：张易军; 刘明; 任巍; 张乐

申请号：201610639472.0




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